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关于无尘室的温湿度

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关于无尘室的温湿度

无尘室的温、湿度主要是根据工艺要求来确定的,在满足工艺要求的条件下,应考虑人的舒适感。

温度对生产工艺的景响,主要是从产品精度和合格来考虑的,另一方面也从污染角度考虑,因为温度升高后,会引起人出汗,汗水会对产品产生污染。

湿度过高产生的问题也很多,如相对湿度超过55%以后,冷却水管壁面上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故,相对湿度在50%时易生锈。

此外,湿度太高会使物体表面的灰尘难以清除,但是相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于物体表面,在半导体生产车间,静电会使半导体器件发生击穿,所以,在无尘室内应对温、湿度加以控制。

《洁净厂房设计规范》中规定,生产工艺无温、湿度要求时,无尘室温度为20-26度,湿度为70%。